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FGLRTP系列滑轨式管式炉(T max 1100)

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度,然后移动到样品处,达到快速升温的效果高纯石英管作为炉膛,无污染,抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观,周边拓展性好,适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

u 工作温度RT1000

u 日本进口智能程序控温仪控制精准、可编辑、储存并调用多段程序

u 采用陶瓷纤维FEC加热模块,电阻丝内嵌式环绕加热

u 炉壳结构,双层炉壳风冷结构

u 不锈钢双层密封法兰,进、出气美标针阀

u 两端可调节式法兰支撑结构延长石英管的使用寿命

u 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电

u 安全保护当炉体漏电时自动断电


额外选配:

u炉内测量系统:(氧含量检测系统、温度检测系统)

u真空系统:(旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组)

u气氛系统:(浮子流量计、质量流量计)

u监控系统:(温度记录仪、触摸屏远程监控)

注:选件需配置拓展柜体


技术参数:

设备型号

最高温度

管径

加热区

温区数

热电偶类型

电压

功率

FGL(RTP)-40/11/1

1100

40mm

320 mm

1

K

220V




3.0KW

FGL(RTP)-50/11/1

1100

50mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-60/11/1

1100

60mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-70/11/1

1100

70mm

320 mm

1

K

220V

FGL(RTP)-80/11/1

1100

80mm

320 mm

1

K

220V

注:给出的最高温度为工作管外测定,其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。


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